Lamp House´Â Wafer Edge Exposure¿¡ ÇÊ¿äÇÑ UV ±¤¿ø ÀåÄ¡ÀÌ´Ù.

º» ÀåÄ¡´Â Á÷±¤Çü UV °æÅë°ú ÀÏüÇüÀ¸·Î °³¹ßµÇ¾î ±¤È¿À²À» ±Ø´ëÈ­
ÇÏ¿´°í Á¦¾îºÎ¿Í LampºÎ¸¦ ºÐ¸®ÇÏ¿© ¼³Ä¡°ø°£ È°¿ëÀÌ ¿ëÀÌÇÏ´Ù.

 
¢Â Àû¿ë°¡´É Lamp°¡ ´Ù¾çÇÏ´Ù. ( º¸¹Î À¯¸ß½º : B250HS, TEL»ç ACT12¿ë 250W Lamp, OSRAM 250W Lamp )
¢Â ArF¿ë PR ´ëÀÀÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
¢Â ±¤È¿À² ±Ø´ëÈ­¸¦ À§ÇÑ ¼öÁ÷ ±¸Á¶ ¼³°è
¢Â Á¦¾îºÎ¿Í LampºÎÀÇ ºÐ¸®·Î ¼³Ä¡°ø°£ È°¿ë ¿ëÀÌ