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Inspection 공정에서 Accept 및 Reject 유무를
Host로부터 받아 최종적으로
Wafer를 ID별로 분류하여 FOUP 및 FOSB로 이재하는 장치이다. |
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◈ ID의 Marking 위치에(Front Side, Back Side, Angle)
구애 받지 않고 읽을 수 있게 하기 위해 OCR Module을 3축으로
이동되도록 Flexible하게
설계.
◈ 빠르고 정확한 OCR 기능을 기반으로 Mixing lot 검출, Laser Marking시 character Missing 여부 검출,
Character의 심한
훼손에 의한 OCR 실패 등을 검출 가능.
◈ 사용자가 쉽게 사용할 수 있는 GUI로 구성되며, 각종 Error Logging 및 Self Diagnosis에 의한
◈ Error 검출을 할 수 있으며 Error 발생 시 Operator에게 Case 별로 적절한 대응 방법을 Screen 상에 제시함으로써
신속하게 작업으로의 복귀가 가능.
◈ 각 부분 핵심 Module을 이력 관리함으로써 문제 발생 시 추적이 가능.
◈ Compact 한 Moving Pass를 구성함으로써 Throughput이 극대화 되도록 설계
◈ SEMI Standard 및 사용자의 안정성을 고려한 Compact Load / Unload Port 채택.
◈ Mini-environment를 설치함으로써 Class 10의 완벽한 Particle control 가능.
◈ ESD(Electro static discharge)로부터의 안전성을 고려한 설계.
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| Description |
Specification |
| Dimension (W x D x H) |
3338 x 2162 x 2142.5 mm |
| Weight |
About 1600 Kg |
| Utility |
Electric
Power |
3P, 3Φ, 220V/60Hz, 10A |
| UPS |
1P, 220V/60Hz, 300W |
| Vacuum |
＞500mmHg |
| Air Pressure |
＞ 5 Bar |
| Performance |
Handling Wafer |
12” |
| Throughput |
Target FOSB(OK 경우) : ＞130 Wafers/Hr
Target FOUP(NG 경우) : ＞80 Wafers/Hr |
| Lord Port |
FOUP Opener : 1 Ports |
| Unload Port |
FOSB Opener : 2 Ports
FOUP Opener : 5 Ports |
| Transfer Robot |
Edge Grip & Single Arm Type
4축 Robot : 2대 |
| OCR |
Cognex사 In-Sight 1701 : 2대
(Front / Back Side) |
| BCR |
For FOUP Opener : Keyence BL-601HASO(7099)
For FOSB Opener : Handy Type |
| Pre Aligner |
Edge Grip Type : 1대 |
| Environment |
FFU / lonizer
Cleanliness : Class 10 @ 0.1㎛ |
| Host Communication |
TCP/IP Port and SECS/GEM for
Host Grading |
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